氣體捕集真空泵
推薦集成電路制造中低溫泵的應(yīng)用及產(chǎn)品發(fā)展現(xiàn)狀
本文介紹了國內(nèi)集成電路制造中進口低溫泵產(chǎn)品的技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀，并對比了不同產(chǎn)品的技術(shù)特點。闡述了國產(chǎn)低溫泵進軍集成電路制造業(yè)的歷程與現(xiàn)狀。
-
集成電路制造中低溫泵的應(yīng)用及產(chǎn)品發(fā)展現(xiàn)狀
本文介紹了國內(nèi)集成電路制造中進口低溫泵產(chǎn)品的技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀，并對比了不同產(chǎn)品的技術(shù)特點。闡述了國產(chǎn)低溫泵進軍集成電路制造業(yè)的歷程與現(xiàn)狀。
-
低溫泵的抽氣原理與分類與結(jié)構(gòu)
利用低溫表面上的吸附劑和打在其上的氣體分子發(fā)生吸附而達到抽氣作用的泵叫低溫吸附泵。根據(jù)所用吸附劑不同，又可分為三種類型： 非金屬吸附劑泵、金屬吸附劑泵、氣體霜。
-
濺射離子泵的結(jié)構(gòu)及其抽氣機理
濺射離子泵又稱潘寧泵，它是靠潘寧放電維持抽氣的一種無油清潔超高真空泵。是目前抽惰性氣體較好的真空獲得設(shè)備。濺射離子泵主要由陽極、陰極、磁場和電源四大部分組成。
-
分子篩吸附泵的結(jié)構(gòu)
分子篩吸附泵是利用分子篩在低溫下能大量吸氣、在高溫下又能將吸附的氣體釋放出來的性質(zhì)而設(shè)計的一種真空泵。分子篩吸附泵的結(jié)構(gòu)類型：按冷卻方式不同，可分為內(nèi)冷式和外冷式。
-
冷阱的基本結(jié)構(gòu)
冷阱的基本類型屬于中心帶障板的冷阱, 其優(yōu)點是捕油性能好, 既能擋住一次束流, 又能防止油分子的爬移, 在內(nèi)膽和上法蘭之間的薄壁筒, 作為表面油分子的爬移壘。
-
低溫泵在超高真空爐中的應(yīng)用實例
本文以實例介紹了低溫泵在超高真空爐中的應(yīng)用； 重點介紹了低溫泵真空系統(tǒng)的設(shè)計思路，真空系統(tǒng)的主要配置和注意事項，低溫泵的選型計算，并用圖示方法詳細介紹了低溫泵系統(tǒng)的安裝、使用和維護等環(huán)節(jié)。
-
HL-2M內(nèi)置式低溫泵基于DSMC方法的抽速計算
HL-2M內(nèi)置式低溫真空泵的復雜性和重要性要求在設(shè)計階段就的對低溫真空泵的抽氣性能進行評估，甚至是定量的計算。作為一個復雜的系統(tǒng)，HL-2M內(nèi)部空間留給大型低溫泵的空間是極其有限的；并且從制造和加工的成本考慮，
真空資訊
推薦閱讀
熱門專題
閱讀排行
- 1冷阱的基本結(jié)構(gòu)
冷阱的基本類型屬于中心帶障板的冷阱, 其優(yōu)點是捕油性能好, 既能
- 2鈦泵和濺射離子泵的工作原理
鈦泵是真空泵的一種, 但它不同于普通的壓縮型泵。鈦泵沒有轉(zhuǎn)動機
- 3低溫泵的工作原理及構(gòu)造示意圖
低溫泵的工作原理是利用氣體在超低溫表面發(fā)生物理吸附而達到排氣
- 4冷凝捕集器(冷阱)的作用和典型結(jié)構(gòu)
冷阱是利用低溫冷壁來捕集可凝性蒸氣的一種低溫冷凝捕集器，冷阱
- 5分子篩的結(jié)構(gòu)與常見種類
分子篩的結(jié)構(gòu)與常見種類
- 6冷凝泵的內(nèi)部構(gòu)造、工作原理及其維護保養(yǎng)
分析了冷凝泵的內(nèi)部構(gòu)造、工作原理, 詳細敘述了工作時的相位關(guān)系
- 7分子篩的吸附原理及應(yīng)用
分子篩的吸附原理及應(yīng)用
- 8冷凝泵的基本原理與制冷過程
G-M循環(huán)冷凍機的降溫過程是吸收外部熱量下降自身溫度的過程,從能
- 9低溫泵的常見的幾種再生方式
- 10濺射離子泵的結(jié)構(gòu)及其抽氣機理
濺射離子泵又稱潘寧泵，它是靠潘寧放電維持抽氣的一種無油清潔超